在微電子制造、光刻技術、航空航天等工業領域，精度是決定產品成敗的核心關鍵。毫米以下的精度偏差往往意味著整批產品的報廢、設備停機甚至項目延期。

一、行業痛點

傳統位置反饋設備如鋼帶尺或玻璃光柵，受限于材料熱膨脹、安裝誤差和環境干擾，已難以滿足當前超精密加工對穩定性、分辨率與抗干擾能力的高要求：

一是測量精度無法滿足納米級加工需求，導致產品良率驟降；

二是測量設備與生產環境適配性差，主機散熱、安裝空間限制影響測量穩定性；

三是多自由度測量場景下，傳統設備難以兼顧效率與精度，拖慢生產節奏。

這些不僅是技術問題，更是影響良品率、生產效率和設備可靠性的系統性挑戰，而光纖激光尺，正是為解決這些行業痛點而生的高精度測量解決方案。

二、光纖激光尺：系統級精度解決方案

PLR3000光纖激光尺基于激光干涉原理，將氦氖激光通過保偏光纖傳輸至干涉探頭，穩頻精度最高可達0.02ppm——這意味著在1米的測量距離中，頻率波動誤差僅0.02微米，遠優于傳統測量工具。實現了非接觸、高分辨率、多通道的位置反饋。同時，其線性測量精度達0.2~0.5ppm，以0.2ppm的PLR3200 PRO型號為例，測量4米量程時最大誤差僅0.8微米，滿足芯片光刻中對晶圓定位的納米級精度要求。

更關鍵的是，設備采用激光發射裝置與干涉探頭分離設計，通過3米鎧裝光纖連接，既能將主機遠離產線熱源，避免溫度變化對測量通路的干擾，又能靈活適配狹小安裝空間，降低阿貝誤差，解決了“精度與環境適配"的兩難問題。

但其核心價值不在于測量，而在于構建穩定可靠的位置基準系統。

三、關鍵技術優勢

1、0.02ppm穩頻精度：從源頭上杜絕頻率漂移，確保長期穩定性；

2、10nm分辨率：支持微米級甚至亞微米級運動控制；

3、多探頭配置：支持角錐棱鏡、平面鏡、差分干涉等多種光學結構，適應反射鏡、線性軸、旋轉臺等不同場景；

4、環境補償單元：實時監測溫濕度、氣壓，自動修正空氣折射率影響，保證測量數據真實可靠；

5、主機與探頭分離設計：通過鎧裝光纖連接，可將激光器遠離熱源與振動源，減少系統干擾。

四、典型應用場景與方案價值

場景一：光刻機工作臺多自由度定位

三軸同步輸出，配合差分干涉儀，可實現工作臺的納米級閉環控制，提升套刻精度與設備吞吐量。

場景二：精密機床刀補與反饋控制

通過安裝平面鏡干涉儀，實時反饋刀頭位置，結合環境補償功能，即使在車間溫波動大的環境下也能保持±0.5ppm的線性精度。

場景三：航空航天領域

大型構件加工時需兼顧長距離與多自由度測量，選擇角錐棱鏡干涉探頭（最大量程4m，最大速度2m/s），配合一體化環境補償單元，可自動監測溫度、氣壓、濕度并實時修正激光折射率，即使在車間環境波動下，也能保證測量準確性

隨著工業4.0與智能制造的深入推進，測量技術也需同步升級。光纖激光尺不僅能滿足當前納米級測量需求，還具備可拓展性——PLR3000量程可突破4m，分辨率可通過外部拓展進一步提升，為未來更高精度的制造場景預留空間。同時，其多通道輸出與定制化探頭設計，能與自動化產線深度融合，助力企業實現“測量-反饋-調整"的閉環控制，推動制造過程向智能化轉型。對于正面臨精度瓶頸的制造企業而言，選擇合適的測量工具是突破發展的關鍵一步。