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SuperViewW1輪廓表面測量儀可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的微觀幾何輪廓、粗糙度、平整度、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標(biāo)準(zhǔn)。

中圖儀器SuperViewW1非接觸式光學(xué)輪廓儀器以白光干涉技術(shù)為原理，能夠以優(yōu)于納米級的分辨率，測試各類表面并自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，廣泛應(yīng)用于光學(xué)，半導(dǎo)體，材料，精密機械等等領(lǐng)域。是一款非接觸測量樣品表面形貌的光學(xué)測量儀器。

SuperViewW1三維輪廓測量儀器以白光干涉技術(shù)為原理，采用了CCD取代了顯微鏡中的目鏡，可以直接從電腦上實時視頻窗口觀察樣品表面形貌，也可以通過重建后的樣品表面3D圖像觀察表面形貌，樣品表面形貌展示得更加清晰，圖像更大，觀察更加方便。

中圖儀器3d光學(xué)檢測輪廓儀可測量程范圍內(nèi)的三維尺寸，不過主要還是用于檢測樣品表面的粗糙度、臺階高、微觀幾何輪廓等參數(shù)。

中圖儀器SuperViewW1光學(xué)3d輪廓儀設(shè)備載物臺（XY）局部位移精度和線性精度為亞微米，Z向運動精度可達數(shù)納米，線性精度可達亞納米級別。

中圖儀器3d形貌輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級數(shù)據(jù)處理與分析的光學(xué)測量儀器。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。