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?現(xiàn)有的接觸式測量方法具有測量速度慢、易劃傷測量表面的缺點(diǎn)，而單一的光學(xué)非接觸測量方法難以完成對大面形或曲率較大的高反射曲面零件三維形貌的高精度測量。SuperView W1白光干涉儀檢測儀器實(shí)現(xiàn)了超精密加工高反射曲面三維形貌的高精度非接觸測量。

中圖儀器利用客戶現(xiàn)場一臺已經(jīng)廢棄的三坐標(biāo)平臺進(jìn)行氣浮隔振改造，在完成隔振模塊和WX-100白光干涉儀便攜式測頭的安裝后，客戶獲得了一臺具有超大尺寸平臺和負(fù)載的高精度白光干涉儀。

Super View白光干涉儀國內(nèi)品牌采用的測量方式是非接觸無損測量方式，避免了對被測物體造成劃痕和磨損，尤其適用于各種柔軟材料、易腐蝕材料和傳統(tǒng)方式無法檢測的表面形態(tài)測量和分析。集合了自身白光干涉三維重建技術(shù)和微納米顯微測量三維軟件，以及采用了集合相移法PSI的高精度和垂直法VSI大范圍兩大優(yōu)點(diǎn)的擴(kuò)展型相移算法EPSI，分辨率0.1μm，重復(fù)性0.1%，比肩進(jìn)口品牌，讓輪廓測量價(jià)格*為實(shí)惠。

中圖儀器白光干涉儀專用于非接觸式快速測量，具有三維形貌測量和圖像分析的功能。適合檢測的樣品按領(lǐng)域分為微納材料、超精密加工（機(jī)械、光學(xué)）、半導(dǎo)體封裝、消費(fèi)電子類這四個領(lǐng)域。

SuperView W3白光干涉儀可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、工科研院所等領(lǐng)域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，

SuperView WX 100白光干涉測頭是一款非接觸式精密光學(xué)測頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學(xué)干涉系統(tǒng)和Z向掃描系統(tǒng)組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點(diǎn)，能夠方便地搭載在各種具備XY水平位移架構(gòu)的平臺上，在產(chǎn)線上對器件表面進(jìn)行自動化形式的測量，直接獲取與表面質(zhì)量相關(guān)的粗糙度、輪廓尺寸等2D/3D參數(shù)。