3d光學輪廓測量儀可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數(shù)，能達到微型范圍內(nèi)重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數(shù)的測量。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質(zhì)量要求高的領(lǐng)域中。

SuperViewW1光學3D表面輪廓儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析，并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù)，從而實現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。

可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內(nèi)外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。

對兩臺階高的檢測

藍寶石玻璃的光面和糙面的粗糙度

玻璃屏表面粗糙度檢測

3d光學輪廓測量儀主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量，可以達到納米級的檢測精度，并快速獲得被測工件表面三維形貌和數(shù)據(jù)。

SuperView1光學3D表面輪廓儀參數(shù)

產(chǎn)品型號：SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱：光學3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng)：1024×1024

光學ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可選）

干涉物鏡：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可選）

XY平臺：尺寸320×200mm，行程140×110mm，電動、手動同時具備，均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程：100mm，電動

Z向掃描范圍：10mm

Z向分辨率：0.1nm

可測樣品反射率：0.05%-100%

水平調(diào)整：±5°手動

粗糙度RMS重復性：0.005nm

臺階高測量：準確度0.3%，重復性0.08% 1σ

主要特點：非接觸式無損檢測，一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè)：深圳市中圖儀器股份有限公司

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