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中圖儀器SuperViewW3d高倍光學輪廓儀是以白光干涉技術原理，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

中圖儀器SuperViewW1國產3D三維光學表面輪廓儀是利用光學干涉原理研制開發的超精細表面輪廓測量儀器。主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW1國產自研三維光學輪廓儀是一款用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。

中圖儀器SuperViewW1白光3D輪廓儀的復合型EPSI重建算法，解決了傳統相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點。在自動拼接模塊下，只需要確定起點和終點，即可自動掃描，重建其超光滑的表面區域，不見一絲重疊縫隙。

中圖儀器SuperViewW納米深度光學3D表面形狀輪廓顯微檢測儀基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

中圖儀器SuperViewW1光學輪廓儀測量表面粗糙度的儀器采用了掃描模塊和內部抗振設計，可實現高測量精度重復性和高粗糙度RMS重復性。它以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像。