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中圖儀器3d光學檢測輪廓儀可測量程范圍內的三維尺寸，不過主要還是用于檢測樣品表面的粗糙度、臺階高、微觀幾何輪廓等參數。

中圖儀器SuperViewW1光學3d輪廓儀設備載物臺（XY）局部位移精度和線性精度為亞微米，Z向運動精度可達數納米，線性精度可達亞納米級別。

W1光學輪廓儀是通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，分辨率0.1μm，重復性0.1%，應用領域廣泛，操作簡便，可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數。專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

3d光學輪廓測量儀可自動聚焦測量工件獲取2D，3D表面粗糙度、輪廓等一百余項參數，能達到微型范圍內重點部位的納米級粗糙度、輪廓等參數的測量。廣泛應用于如納米材料、航空航天、半導體等各類精密工件表面質量要求高的領域中。

SuperViewW1光學輪廓儀器廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測量。具有測量精度高、功能全面、操作便捷、測量參數涵蓋面廣的優點，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內，確保了高款率檢測。

SuperViewW1光學表面輪廓測量儀對產品進行高品質監控時不需要取下產品或停止生產，而且采用的是非接觸式光學測量，在獲得實時數據的同時，不會對產品造成任何損傷，從而有效節約了生產成本，提高了生產效率，并且在線檢測，沒有滯后性，從而減少不合格品，對表面缺陷檢測亦如此。