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SuperViewW非接觸式表面光學(xué)輪廓儀以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測。特殊光源模式可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

SuperViewW光學(xué)三維表面粗糙度輪廓儀測量單個(gè)精細(xì)器件的過程用時(shí)短，確保了高款率檢測。特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。

SuperViewW非接觸式光學(xué)3D表面形貌測量系統(tǒng)以白光干涉技術(shù)為原理，能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸，可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

SuperViewW國產(chǎn)白光干涉光學(xué)輪廓儀系統(tǒng)基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關(guān)鍵參數(shù)和尺寸。復(fù)合型EPSI重建算法，解決了傳統(tǒng)相移法PSI掃描范圍小、垂直法VSI精度低的雙重缺點(diǎn)。

SuperViewW非接觸式光學(xué)3D表面粗糙度輪廓儀特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精細(xì)器件表面的測量。單片平面樣品或批量樣品切換測量點(diǎn)位時(shí)，可一鍵實(shí)現(xiàn)自動(dòng)條紋搜索、掃描等功能。

SuperViewW光學(xué)三維表面形貌測量儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精細(xì)表面輪廓測量儀器，單一掃描模式即可滿足從超光滑到粗糙、鏡面到全透明或黑色材質(zhì)等所有類型樣件表面的測量。