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VT6000三維共焦顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學(xué)系統(tǒng)為基礎(chǔ)，結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)和3D重建算法，共同組成測(cè)量系統(tǒng)。可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。

CEM3000系列臺(tái)式材料分析掃描電鏡高易用性，能夠快速成像、一鍵出片，用戶使用自動(dòng)調(diào)節(jié)功能，無(wú)需過(guò)多人工操作，就可得到高質(zhì)量拍攝圖片。

CEM3000鎢燈絲掃描電鏡采用制作工藝相對(duì)簡(jiǎn)單的鎢燈絲，材料成本較低，使得鎢燈絲電子槍的整體成本不高，從而降低了臺(tái)式掃描電鏡的設(shè)備采購(gòu)成本，對(duì)于預(yù)算有限的用戶或?qū)嶒?yàn)室來(lái)說(shuō)更具經(jīng)濟(jì)吸引力。

NS系列納米級(jí)精度臺(tái)階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測(cè)量?jī)x器，其主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。它采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。

CEM3000系列桌面臺(tái)式掃描電鏡空間分辨率出色和易用性強(qiáng)，用戶能夠非常快捷地進(jìn)行各項(xiàng)操作。甚至在自動(dòng)程序的幫助下，無(wú)需過(guò)多人工調(diào)節(jié)，便可一鍵得到理想的拍攝圖片。

NS系列軟膜材料臺(tái)階高度測(cè)量?jī)x采用了線性可變差動(dòng)電容傳感器LVDC，具備超微力調(diào)節(jié)的能力和亞埃級(jí)的分辨率，同時(shí)，其集成了超低噪聲信號(hào)采集、超精細(xì)運(yùn)動(dòng)控制、標(biāo)定算法等核心技術(shù)，使得儀器具備超高的測(cè)量精度和測(cè)量重復(fù)性。